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多軸激光干涉儀API XD Laser

多軸激光干涉儀API XD Laser

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多軸激光干涉儀API XD Laser
XD激光測量系統(tǒng)是一臺由外部計算機及其應(yīng)用程序控制的激光測量儀器。XD激光測量系統(tǒng)可以同時對六個自由度上的參數(shù)進(jìn)行測量,包括:線位移、水平直線度、垂直直線度、(水平面內(nèi))偏擺角、(垂直面內(nèi))俯仰角以及繞測量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角。

多軸激光干涉儀API XD Laser的詳細(xì)資料:

干涉儀類別:

1D激光主要可以測量定位誤差

3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)

5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角

 

XD激光測量系統(tǒng)是一臺由外部計算機及其應(yīng)用程序控制的激光測量儀器。XD激光測量系統(tǒng)可以同時對六個自由度上的參數(shù)進(jìn)行測量,包括:線位移、水平直線度、垂直直線度、(水平面內(nèi))偏擺角、(垂直面內(nèi))俯仰角以及繞測量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角。

 

    5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差,包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進(jìn)行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時間可達(dá)80%。

    該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù),記錄準(zhǔn)確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

    為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到很小,從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到非常小。

 

主要特點

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角 
2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器很長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性 
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間

技術(shù)參數(shù)(XD Laser 為無線產(chǎn)品,可選三種不同的準(zhǔn)確性等級)

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:
            1. 線性:0.5ppm 
            2. 測量范圍:40米(1D可選80米) 
            3. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值 
            4. 范圍:800角秒 
            5. 滾動角精度:1.0角秒 
            6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值 
            7. 范圍:500um 
            8. 垂直度精度:1角秒 
            9. 溫度:0.2攝氏度 
            10.濕度:5% 
            11.壓力:1mmHg

5D/6D精密型:
            1. 線性:0.2ppm 
            2. 測量范圍:25米 
            3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值 
            4. 范圍:400角秒 
            5. 滾動角精度:0.5角秒 
            6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值 
            7. 范圍:300um 
            8. 垂直度精度:0.5角秒 
            9. 溫度:0.1攝氏度 
            10.濕度:3% 
            11.壓力:0.3mmHg

5D/6D高精密型: 
            1. 線性:0.2ppm 
            2. 測量范圍:根據(jù)用戶要求而定 
            3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒 
            4. 范圍:500角秒 
            5. 滾動角精度:0.5角秒 
            6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um 
            7. 范圍:100um 
            8. 垂直度精度:0.5角秒 
            9. 溫度:0.1攝氏度 
            10.濕度:3% 
            11.壓力:0.3mmHg

 

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